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电子偏光显微镜的基本构造

发布人:shpuda发布时间:2014/2/10

      电子偏光显微镜(以下简称电镜—译注)的主体由电子枪和安置在直立镜筒中的一组磁透镜组成,镜筒内的真空度抽到10-5毛以上。电子枪产生相干平行电子束,利用双聚光镜系统可使其照在样品上的束斑直径在1-50微米(μm)范围内变化。


      固定试样的特制样品台正好放进物镜孔内,并能让样品绕相互垂直的两根轴转动300以上,以便进行专门的晶体学分析。通过样品的电子束在物镜后焦面上聚焦,这个物镜和所有电磁透镜一样,是会聚镜,在它的后焦面就会产生衍射花样,而在一次象平面上则呈现倒转的象。镜筒里后而三个透镜,即衍射镜、中间镜和投影镜,是用来放大图象或衍射花样。若衍射镜对物镜后焦面聚焦,萤光屏上就看到放大的衍射花样;反之,若衍射镜对一次象平面成象,就得到放大的试样象。典型的现代电镜在萤光屏上的最终放大率可在10(2)-10(8)倍之间变化。


      实际上,在进行一切晶体缺陷分析时都把一个光栏插在物镜后焦面或其附近,以保证只有一束电子参加成象。此外,当缩短衍射镜焦距以使衍射花样在物镜后焦面上成象时,还应在一次象平面处放置一个光栏限定产生衍射花样的试样区域,这叫做选区电子衍射。

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